专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
纽富来科技股份有限公司
>
电子束描绘装置及电子束描绘方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载电子束描绘装置及电子束描绘方法的技术资料
文档序号:9060246
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种电子束描绘装置及电子束描绘方法,该电子束描绘装置(100)具有:XY载物台(105),载放试样(216);以及电子镜筒(102),配置有出射电子束(200)的电子枪(201)和具备排列在电子束(200)的轴向上的电极的透镜(202、20...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。