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一种采用霍尔阵列的磁浮平面电机初始化位置检测方法技术
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文档序号:9059600
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本发明提供一种采用霍尔阵列的磁浮平面电机初始化位置检测方法,其特征在于:若干霍尔元件沿XY向等间距分布形成井字形或正方形阵列,阵列中各传感器对所在位置Z向磁通密度分量进行测量。该阵列中沿XY向分布的传感器用于XY坐标系的位置测量,沿UV向分...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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