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滚动模组及使用该滚动模组的输送装置制造方法及图纸
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下载滚动模组及使用该滚动模组的输送装置的技术资料
文档序号:9043766
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本实用新型公开了一种输送装置,用以输送基板,输送装置包括:具有二侧部的机台;设置于二侧部之间的第一输送机构;以及,设置于二侧部之间的第二输送机构,第一、二输送机构彼此上下间隔设置,第二输送机构包含多个输送轴和多个滚动模组,各该输送轴连接于二...
该专利属于亚智科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚智科技股份有限公司授权不得商用。
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