下载滚动模组及使用该滚动模组的输送装置的技术资料

文档序号:9043766

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本实用新型公开了一种输送装置,用以输送基板,输送装置包括:具有二侧部的机台;设置于二侧部之间的第一输送机构;以及,设置于二侧部之间的第二输送机构,第一、二输送机构彼此上下间隔设置,第二输送机构包含多个输送轴和多个滚动模组,各该输送轴连接于二...
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