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中国科学院微电子研究所
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隧穿二极管整流器件及其制造方法技术
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文档序号:9035041
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本发明涉及微电子器件与存储器技术领域,公开了一种用于双极性阻变存储器的隧穿二极管整流器件及其制造方法,该隧穿二极管整流器件包括:下电极;下电极之上的整流功能层;上电极。本发明的整流器件能够提供较高的电流密度,与阻变存储器串联后形成的1S1R...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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