下载封闭型沟槽式功率半导体元件及其制造方法的技术资料

文档序号:9035015

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本发明涉及一种封闭型沟槽式功率半导体元件及其制造方法,该封闭型沟槽式功率半导体元件包括一基材、多个单位晶胞;其中,多个单位晶胞,数组排列于基材内;且各单位晶胞包括一本体区与一沟槽式栅极;上述沟槽式栅极,环绕本体区的周围,且沟槽式栅极的至少一...
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