下载薄膜晶体管基板及其制备方法的技术资料

文档序号:9034950

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一种薄膜晶体管基板,包括基底、保护层及导电层;保护层层叠于所述基底上,所述保护层的材料为二氧化硅;导电层层叠于所述保护层上,所述导电层的材料为氧化铟锡。上述薄膜晶体管基板通过在基底上设置保护层及导电层,降低基底表面电阻,控制已产生静电的消散...
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