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本发明提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设定的...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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