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硅烷气体收集装置制造方法及图纸
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下载硅烷气体收集装置的技术资料
文档序号:9017891
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本实用新型涉及一种硅烷气体收集装置,包括至少两个收集钢瓶、运输气管、检测点火器和冷却装置,所述收集钢瓶均并联连接在所述运输气管上,所述收集钢瓶置于所述冷却装置内部,所述检测点火器与所述运输气管的出气端连接,通过本实用新型能提高硅烷气体收集的...
该专利属于中南林业科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南林业科技大学授权不得商用。
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