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本发明涉及一种容纳装置，用于容纳和保持晶片来加工晶片，其具有用于将晶片容纳在晶片的支承面上的保持面和用于保持晶片的保持装置，其中通过保持装置实现将极薄的晶片保持在晶片的保持面上，晶片的局部变形尽可能小。...
该专利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过EV集团E·索尔纳有限责任公司授权不得商用。

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