下载实现半导体量子阱结构带隙蓝移的方法的技术资料

文档序号:9008677

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本发明提供了一种实现半导体量子阱结构带隙蓝移的方法。该方法包括:在量子阱结构上沉积表面牺牲层;通过超短脉冲激光辐照或者扫描选定区域的表面牺牲层,以在该区域的表面牺牲层实现化学变性或者引入结构缺陷,形成激光改性区;对包括量子阱结构和表面牺牲层...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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