下载一种非极性阻变存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:9008486

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本发明公开了一种非极性阻变存储器及其制备方法,包括导电衬底兼下电极、阻变存储介质、金属上电极。导电衬底材料为p+型硅片衬底,阻变存储介质薄膜为ZnMn2O4及其掺杂物,掺杂元素包括Y、Sc、Mg、Si、Sn和In,厚度为20nm到1200n...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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