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一种基于钛酸铋的阻变存储器及其制备方法技术
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文档序号:9008485
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本发明公开了一种基于钛酸铋材料的阻变存储器及其制备方法。阻变存储介质层为Bi4Ti3O12及其掺杂物,掺杂元素包括Nb、Ta、La、Sr、V、Nd、Ce、Sm、Ca和Pr,阻变介质层为薄膜形态。器件结构为衬底/下电极/阻变介质层/上电极,上...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。
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