下载一种发光二极管的外延片及其制造方法的技术资料

文档序号:9008468

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本发明公开了一种发光二极管的外延片及其制造方法,属于半导体技术领域。该外延片包括:衬底、以及依次层叠在衬底上的缓冲层、不掺杂的GaN层、n型层、多量子阱层和p型层,外延片还包括设于n型层与多量子阱层之间的电流扩展层,电流扩展层为超晶格结构,...
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