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一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置制造方法及图纸
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下载一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置的技术资料
文档序号:9007373
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一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置,它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装装置。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长,装置运行效率低的问题。本发明包括5自由度位姿调整台、洁净拆装转运箱和连接手轮;5自由度位姿调...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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