下载晶硅切割废弃料制备氮化硅复合碳化硅陶瓷的方法的技术资料

文档序号:9004233

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本发明公开了属于陶瓷技术和二次资源综合利用技术领域的一种晶硅切割废弃料制备氮化硅复合碳化硅陶瓷的方法。本发明利用金刚石线切割晶硅的废弃物中的高纯Si粉和多丝线切割晶硅废料中易收集的SiC微粉,混合氮化反应常压烧结制备氮化硅结合碳化硅陶瓷。对...
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