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本实用新型公开了一种测量装置，包括底座、测量辅助板、两块间隔设置的第一限位块和一块第二限位块，所述测量辅助板铺设于所述底座上，所述测量辅助板的一个表面上设有两个辅助测量部，所述辅助测量部与所述第一限位块一一对应，所述第二限位块的工作面与其中...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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