下载一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器的技术资料

文档序号:8993096

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本实用新型涉及一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器,包括法兰盘、O型密封圈、泄压盲板、端部带有螺纹的导杆及压缩弹簧,所述法兰盘垂直安装在所述真空管道的下端,所述泄压盲板上设置有通孔,所述泄压盲板设置在所述法兰盘的下方;所述导杆穿过所述泄压盲板...
该专利属于河北同光晶体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北同光晶体有限公司授权不得商用。

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