下载一种磁场均匀镀膜调节装置的技术资料

文档序号:8993025

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本实用新型公开了一种磁场均匀镀膜调节装置,包括阴极底座,阴极底座上安装有阴极靶,其特征在于:阴极底座与磁铁相向隔离设置,磁铁上设有至少两块可移动的磁铁背板,磁铁背板外侧连接有调节装置。本实用新型通过设置多块可移动的磁铁背板和设置在其上带刻度...
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