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本实用新型涉及夹具和携动件。本实用新型涉及用于平的衬底的运输装置的领域。本实用新型尤其涉及夹具和其在轴上的固定。根据本实用新型的用于能运输穿过具有处理液的处理池的平衬底的夹具（1）具有：能插装到能旋转的轴（2）上的套筒（3），套筒在其壳面（...
该专利属于睿纳有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿纳有限责任公司授权不得商用。

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