温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种热固化装置，包括热固化腔体，还包括：加热承载单元，用于对热固化腔体加热，并支撑待固化的基板，加热承载单元可改变所支撑的待固化的基板位置；进气单元，用于使热固化腔体内的气体流动，所述进气单元位于所述加热承载单元的上方，其进...该专利属于合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。