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本实用新型公开了一种多级驱动电渗微泵装置，包括集成在微流控芯片上的流体微流道和电极微流道，流体微流道连接所泵送流体的微流道进口或出口，或为微流道的一部分；电极微流道对称分布在流体微流道的两侧，其内部填充液态金属，形成微电极，电极微流道具有液...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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