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一种超净高效吸收塔，属于气体净化设备技术领域。包括塔体、储液罐、循环泵、循环液管、旋转塔盘、介质气进气管和PFA涂层，塔体与储液罐一体制作，在塔体内设置除沫层、第一和第二填料层，塔体的顶部设尾气排放口，储液罐的底部设出液口，出液口连接循环泵...
该专利属于江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司授权不得商用。

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