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感光性树脂组合物制造技术
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文档序号:8983276
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本发明提供一种碱显影性的负型感光性树脂组合物以及使用了该感光性树脂组合物的永久抗蚀剂,所述负型感光性树脂组合物的透明性、耐化学试剂性、耐热性及碱显影性优异,而且作为永久抗蚀剂的耐热性及耐经时变化性优异,适合作为绝缘层。具体而言,提供一种感光...
该专利属于株式会社艾迪科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社艾迪科授权不得商用。
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