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本发明提供一种用于评价包含在有机材料中的异物缺陷的评价用基板及其缺陷检查方法和缺陷检查装置。本发明的评价用基板的特征在于，具备：基板；配置在上述基板上的第一膜；配置在上述第一膜上并在其上形成包含上述有机材料的膜的第二膜，上述第一膜被设定为，...
该专利属于大日本印刷株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本印刷株式会社授权不得商用。

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