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一种形成片状晶圆的方法，该方法在作为晶体生长熔炉的一部分的坩锅中熔化给料材料，以及使多条细丝通过坩埚以形成（未分离的）片状晶圆。多个片状晶圆可以形成在坩埚中的不同通道中。在生长期间，使用一个或多个视觉系统来确定片状晶圆是否具有缺陷状况。如果...
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