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本发明一般涉及加热装置及使用该加热装置的方法。在一些实施例中，加热装置包含具有中空圆柱形加热腔的压力壳、设置于该中空圆柱形加热腔中的环状遮热板、及至少一设置于该环状遮热板的内部容积中的加热组件。在另一实施例中，一种制备三氯硅烷的方法，包括以...
该专利属于GTAT公司所有，仅供学习研究参考，未经过GTAT公司授权不得商用。

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