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中国科学院半导体研究所
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一种锁模外腔半导体激光器制造技术
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下载一种锁模外腔半导体激光器的技术资料
文档序号:8981590
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本发明公开了一种锁模外腔半导体激光器,该锁模外腔半导体激光器沿其光路依次包括半导体器件、准直透镜、波长调谐元件、聚焦透镜和反射镜。该锁模外腔半导体激光器采用等边色散棱镜作为波长调谐元件。相比于闪耀光栅,等边色散棱镜对光的损耗较小,从而保证了...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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