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一种平面型雪崩光电探测器制造技术
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下载一种平面型雪崩光电探测器的技术资料
文档序号:8981404
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本发明公开了一种平面型雪崩光电探测器,其外延结构包括:吸收层,其用于吸收目标探测光,将目标探测光的光子转化为光生载流子;N型下电荷层,其用于调控所述雪崩光电探测器器件内部电场分布;倍增层,其用于倍增所述光生载流子;P型上电荷层,其也用于调控...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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