下载硅片承载器的技术资料

文档序号:8981313

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一种硅片承载器,其包括一根护条以及由下述零件焊接和/或拼接而成的结构,所述护条为PFA包覆金属的圆柱形杆,两个相互对立的端板,每个端板内部开有至少一个窗口,每个端板的外表面焊接有两个提拉块,所述提拉块位于同一水平位置,并相对于端板的垂直中心...
该专利属于北京市塑料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京市塑料研究所授权不得商用。

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