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本发明提供了一种基板定位装置，所述基板定位装置包括：支承单元，所述支承单元用于将基板支承就位；光发射单元和光接收单元，所述光发射单元和所述光接收单元分别布置在所述基板的主面两侧并彼此相对；发光控制单元，所述发光控制单元被配置为依据控制值控制...
该专利属于株式会社安川电机所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社安川电机授权不得商用。

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