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本发明涉及制造垂直平面功率MOSFET的方法和制造沟槽栅极功率MOSFET的方法。在含有具有超结结构的漂移区的超结功率MOSFET的制造步骤中，在形成超结结构之后，典型地执行引入体区等以及与其有关的热处理。然而，在其过程中，包括在超结结构内...
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