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本发明涉及一种后放大数字全息显微表面微小疵病测量方法及装置。本发明采用短相干光源，通过斜入射的方式，获得光学元件表面微小疵病的散射光信息，并与参考光束发生干涉；然后通过后放大的方式放大干涉图像信息并通过CCD相机接收，最终通过数字全息原理计...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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