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一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台制造技术
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文档序号:8979901
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本发明公开了一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,由基座、运动平台、压电陶瓷驱动器、位移放大机构及导向机构等部分组成。第一、第二压电陶瓷驱动器相互垂直地放置在基座上各自的圆柱形槽内,驱动器的输出端紧靠在位移放大机构的输入铰链上,经位移放大机构...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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