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一种四氯化硅气相水解合成纳米级二氧化硅的方法，先将四氯化硅、超纯水的汽化，四氯化硅蒸气和水蒸汽被载气带入水解反应器，反应形成含有二氧化硅原生粒子的气固混合物，然后通过收集器收集，并尾气处理，酸性气体溶于水形成盐酸副产物，剩余气体经碱液吸收后...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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