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激光光线的光点形状检测方法以及光点形状检测装置制造方法及图纸
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文档序号:8978822
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本发明提供激光光线的光点形状检测方法以及光点形状检测装置。包括:透明基板定位步骤,将形成有细微棱镜的透明基板以能够在与Z轴方向垂直的X轴方向以及与Z轴方向和X轴方向垂直的Y轴方向上移动的方式,定位到由聚光器会聚的激光光线的光轴上;激光光线照...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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