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AMOLED低掺杂度漏极TFT制作工序中的结构制造技术
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文档序号:8976657
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本实用新型公开了一种AMOLED低掺杂度漏极TFT制作工序中的结构,所述制作工序包括在玻璃基板上蒸镀氧化物缓冲层、非晶硅、Ni原子单位,结晶化a-Si及一次蒸镀绝缘膜、二次蒸镀绝缘膜等工序,所述一次蒸镀绝缘膜后,AMOLED低掺杂度漏极TF...
该专利属于四川虹视显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川虹视显示技术有限公司授权不得商用。
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