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本实用新型涉及一种MOCVD设备及其中的进气装置，通过在进气装置的下表面预先进行表面处理，形成耐高温及耐化学腐蚀的表面处理层，例如是与实际生产后的附着层的性质相类似的吸光涂层，或者热处理层，或化学处理层，或结构处理层等，这些表面处理层的形成...
该专利属于中晟光电设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中晟光电设备（上海）有限公司授权不得商用。

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