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本实用新型涉及磁控溅射阴极靶材的密封结构。包括靶材和阴极座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板与阴极座之间设有导磁不锈钢密封板，所述的导磁不锈钢密封板与阴极座之间设有密封两者的第一密封圈，所述的导磁不锈钢密封板及靶背板分别与阴极座固定连...
该专利属于安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司授权不得商用。

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