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一种刻蚀辅助装置，涉及一种光学材料加工设备。提供采用化学刻蚀方法测定元件亚表面缺陷深度时，能有效避免因溶液浓度不均匀、反应吸放热、反应产生络合物等因素造成测量误差的一种刻蚀辅助装置。包括支架、恒温锅、微型电机、可升缩挂杆、提篮、伸缩管、密封...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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