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用于电化学检测装置的微孔的化学涂层制造方法及图纸
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下载用于电化学检测装置的微孔的化学涂层的技术资料
文档序号:8962862
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本发明所描述的实施方案可以提供制造化学检测装置的方法。该方法可以包括在CMOS装置上形成微孔。微孔可以包括底表面和侧壁。所述的方法可以进一步包括:施加第一化学品,使其选择性地附着在微孔的底表面上;在微孔的侧壁上形成金属氧化物层;以及施加第二...
该专利属于生命科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过生命科技股份有限公司授权不得商用。
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