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本发明涉及一种耐高压高储能密度电容器及其制备方法，包括基体、底电极、介电层、顶电极，用Si或SiO2/Si作为基体，底电极为金属薄膜、导电氧化物薄膜、或两种组合；介电层由BaTiO3铁电薄膜组成，顶电极为金属薄膜点电极。采用金属靶或/和导电...
该专利属于欧阳俊所有，仅供学习研究参考，未经过欧阳俊授权不得商用。

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