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本发明涉及检查装置、处理装置、信息处理装置以及对象制造装置。一种检查装置包括检测器、发送器以及接收器。检测器被配置为检测由处理装置处理的对象是否具有缺陷。发送器被配置为向处理装置发送关于通过检测器检测的缺陷的缺陷信息。接收器被配置为在处理装...
该专利属于索尼公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尼公司授权不得商用。

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