温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种柔性微定位平台，其特征在于，该定位平台包括一个动平台、四对弓形片簧、两个柔性杠杆位移放大机构、两个压电陶瓷驱动器和一个底座；所述动平台为正方形结构，由分布在其四个边缘上的四对弓形片簧支撑，所述柔性杠杆位移放大机构的固定端通过螺...
该专利属于河北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。