下载一种多晶硅的铸锭方法的技术资料

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本发明公开了一种多晶硅的铸锭方法,涉及硅的生长制造技术领域。所述方法包括以下步骤:碎硅片准备→硅片准备→坩埚装料→控制加热条件,使坩埚上面硅料熔化→控制碎硅片部分熔化→长晶阶段→退火阶段→冷却阶段。所述方法使用碎硅片生产硅锭,大大降低了生产...
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