下载一种大尺寸c取向蓝宝石单晶的生长方法的技术资料

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本发明公开了一种大尺寸c取向蓝宝石单晶的生长方法,包括放置籽晶、装料、抽真空、启动氦气、加热化料、晶体生长、降温退火、检测及处理等步骤;本发明将目前使用的直径260mm坩埚增大至直径285mm坩埚,无需变动原热场,对长晶参数进行优化,投料量...
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