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本发明涉及沉积设备，该沉积设备包括反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；旋转装置，用于带动所述旋转台转动，所述旋转装置包括：支撑座、筒状外壳以及旋转支撑轴，所述筒状外壳一端连接所述支承座上，另一端连接所述反应腔，所述旋转支撑轴套...
该专利属于光垒光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光垒光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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