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本发明公开了一种薄膜沉积设备和一种薄膜沉积方法。薄膜沉积设备包括：基底支撑单元，支撑基底；沉积源，使沉积材料蒸发以将沉积材料的蒸汽供应到基底；沉积源移动单元，使沉积源运动，从而沉积源相对于基底支撑单元相对地移动。...
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