用于沉积薄膜的设备和方法技术
【技术实现步骤摘要】
用于沉积薄膜的设备和方法本申请参照于2012年1月20日在韩国知识产权局在先提交的并被适时分配的序号为10-2012-0006547的申请，将该申请包含于此，并要求获得该申请的所有权益。
在此描述的专利技术构思涉及一种基底处理设备，更具体地讲，涉及一种能够进行薄膜的沉积的设备。
技术介绍
在显示装置中，有机发光显示装置可以使用有机发光元件，并且可以具有诸如宽视角、良好的对比度、快速的响应速度等之类的优点。由于该原因，所以有机发光显示装置作为下一代显示装置而能够备受瞩目。
技术实现思路
本专利技术提供了一种改进的薄膜沉积设备。专利技术构思的示例性实施例提供了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备包括：基底支撑单元，支撑基底；沉积源，使沉积材料蒸发以将沉积材料的蒸汽供应到基底的表面上；沉积源移动单元，使沉积源运动，从而沉积源相对于基底支撑单元移动。在示例性实施例中，沉积源包括：蒸发间(即，蒸发室)，在蒸发间内使沉积材料蒸发以产生沉积材料的蒸汽；喷嘴单元，具有沉积材料的蒸汽被释放到基底所经过的输出孔；蒸汽供应单元，连接蒸发间和喷嘴单元，并向喷嘴单元供应沉积材料的蒸汽；光辐射单元...
【技术保护点】
一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备包括：基底支撑单元，支撑基底；沉积源，使沉积材料蒸发以将沉积材料的蒸汽供应到基底的表面上；以及沉积源移动单元，使沉积源运动，从而沉积源相对于基底支撑单元移动。
【技术特征摘要】
2012.01.20 KR 10-2012-00065471.一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备包括：基底支撑单元，支撑基底；沉积源，使沉积材料蒸发以将沉积材料的蒸汽供应到基底的表面上；以及沉积源移动单元，使沉积源运动，从而沉积源相对于基底支撑单元移动，其中，沉积源包括：蒸发间，在蒸发间内使沉积材料蒸发以产生沉积材料的蒸汽；喷嘴单元，具有沉积材料的蒸汽被输出到基底所经过的输出孔；蒸汽供应单元，连接蒸发间和喷嘴单元，并向喷嘴单元供应沉积材料的蒸汽；光辐射单元，放置在喷嘴单元的一侧，并辐射光以使基底的沉积有沉积材料的区域硬化；以及蒸发间移动单元，使蒸发间相对于蒸汽供应单元进行相对移动，并且使得蒸发间、蒸汽供应单元和喷嘴单元排列在同一行。2.如权利要求1所述的薄膜沉积设备，其中，基底支撑单元在基底沿上下方向直立的状态下支撑基底，沉积源移动单元使沉积源在基底的上部和下部之间沿上下方向移动，光辐射单元放置在喷嘴单元的上侧和下侧中的至少一侧。3.如权利要求1所述的薄膜沉积设备，其中，基底支撑单元以将要被沉积沉积材料的表面面向下的方式来支撑基底，喷嘴单元将沉积材料的蒸汽供应到设置在基底支撑单元的下侧处的基底，光辐射单元沿着沉积源的移动方向放置在喷嘴单元的前面和后面中的至少一面。4.如权利要求1所述的薄膜沉积设备，其中，光辐射单元辐射紫外线。5.如权利要求1所述的薄膜沉积设备，其中，蒸发间包括：容器，具有内部空间；喷射喷嘴，与容器接合，并将液化的沉积材料雾化到容器的内部空间中；以及第一加热器，围绕容器并加热容器的内部空间。6.如权利要求5所述的薄膜沉积设备，其中，蒸发间还包括连接容器和蒸汽供应单元的传输喷嘴，并且具有比容器的内部直径小的第一内部直径；其中，蒸汽供应单元包括具有第一区域、第二区域和第三区域的供应喷嘴，第一区域接合到传输喷嘴，并且具有比第一内部直径小的第二内部直径，第二区域具有比第二内部直径大且比容器的内部直径小的第...
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