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本发明公开了一种用于磁控溅射设备倒置的固定多个基片的夹具，包括底座和固定件，所述底座上设有若干条燕尾槽，所述燕尾槽的顶面上间隔地设有多个用来放置基片的矩形槽，所述矩形槽的四角处均分别固定有垫片，所述垫片的高度为矩形槽与基片的高度之差；所述固...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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