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基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统技术方案
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文档序号:8948702
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本实用新型公开一种基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统,其主要由光学相干层析成像装置、系统光纤准直器、二维扫描振镜、扫描物镜、纵移平台、平移平台和计算机组成。本实用新型通过利用光学相干层析扫描的方法,直接得到电路板的盲孔或通孔的三维结构图...
该专利属于刘茂珍;李喜锦;李育华所有,仅供学习研究参考,未经过刘茂珍;李喜锦;李育华授权不得商用。
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